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导师姓名:丁士进
性别:
人气指数:3092
所属院校:复旦大学
所属院系:微电子研究院
职称:研究员
导师类型:博导
招生专业:微电子学与固体电子学
研究领域:

集成电路工艺与器件

研究领域:

集成电路工艺与器件 [收起]

科研工作 :
1.纳米晶非挥发闪存器件研究(国家02重大专项课题、教育部重点项目、新世纪优秀人才计划)2.原子层淀积高介电常数介质及在MOS器件中的应用研究(国家02重大专项课题)3.超低介电常数介质/铜互连研究(973课题)
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